美国发明了光刻机,为何最后是ASML独霸天下

2021-11-25 21:20:32
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  【摘要】   说起芯片制造过程中,最重要的设备是什么,相信绝大多数人都会说是光刻机。  从光刻机的全球格局来看,荷兰的ASML是独霸天下,EUV光

  

说起芯片制造过程中,最重要的设备是什么,相信绝大多数人都会说是光刻机。

  

从光刻机的全球格局来看,荷兰的ASML是独霸天下,EUV光刻机只有它能够生产,而日本的佳能、尼康早已沦为二流,中国的上海微电子落后了十多年,在奋起追赶。

  

而美国虽然在芯片领域占了全球近50%的市场,却没有光刻机厂商。

  

  

事实上,光刻机最早是由美国发明的,那么问题就来了,为何发明了光刻机,美国却自己没有光刻机,最后是ASML称王?

  

光刻机的原型,最早出现在上世纪的五、六十年代,那时候贝尔实验室就已经搞出了这种东西,但一直没有重视,毕竟当时的芯片制造并不依赖光刻技术。

  

再加上研究这东西,成本太高,且在当时对芯片制造,也没太多有价值的作用,于是美国厂商也不重视它。

  

  

后来在七、八十的年代,日本半导体高速发展,日本的佳能、尼康在光刻机领域崛起,于是美国从事光刻业务的相关企业,基本就没落了,后来美国搞光刻机的企业Cobilt甚至被卖掉了。

  

后来英特尔与欧洲公司 Censor 合作,想要搞一台类似于光刻机这样的新东西出来,然而尝试失败了,最终整个光刻机市场被尼康、佳能占据。

  

后来到了2004年,台积电提出了浸润式光刻方案,当时的光刻机巨头尼康、佳能并不看好,反而小企业ASML决定试一试,于是一试成功,仅5年时间,就成为全球光刻机巨头,把尼康、佳能甩到了身后。

  

  

后来ASML担心自己被制约,也担心其它芯片厂商扶持另外的光刻机企业,威胁到自己的地位,于是想了一招,让intel、台积电、三星等成为了自己的股东。

  

同时ASML还加入了英特尔牵头搞的前沿组织EUV LLC,成功站队,让美国对ASML也不再担心,于是也不限制ASML的成长。

  

而美国也觉得ASML是受自己控制的,让他发展也没什么,也会被自己所用,再加上搞光刻机也确实很难,没什么企业愿意去搞,反正找ASML买就行了,所以导致美国没有光刻机厂商。