【摘要】 财经网资本市场讯大基金又有新动作披露！10月18日盘后，至纯科技公告，公司控股子公司至微半导体（上海）有限公司（以下简称至微科技）
财经网资本市场讯大基金又有新动作披露！10月18日盘后，至纯科技公告，公司控股子公司至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微科技”）拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。其中国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司（以下简称“大基金二期”）以5。4945元/注册资本认缴1820万元注册资本，投资金额逾一亿元。
详细来看，本次交易前，至微科技注册资本为45，500万元，依据增资前至微科技250，000万元的估值，对应5。4945元/注册资本。本次深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“远致星火”）、大基金二期、混改基金等企业合计向至微科技增资42，000万元，其中7，644万元计入注册资本，其余34，356万元计入资本公积。
本次增资的同时，至纯科技还将持有的至微科技对应本次增资42，000万元后的7。95%的股权以23，200万元转让给远致星火，其中4，222。40万元计入至微科技注册资本，18，977。60万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。
对于此次交易的意义，至纯科技表示，若本次交易顺利实施，公司引入战略投资者有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系，公司将积极加强产业合作，进一步提升经营活力与效益，符合公司长期发展战略，不存在损害公司及上市公司全体股东利益的情形。
值得一提的是，大基金二期的投资动态对半导体行业来说颇具有风向标意义。10月15日晚间，晶方科技（603005。SH）、兆易创新（603986。SH）先后发布公告称，国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称“大基金”)将减持公司股份。受消息影响，10月18日开盘，晶方科技、兆易创新明显走低，前者报收44。27元/股，跌3。61%；后者报收149。31元/股，跌4。01%。
对大基金上述减持计划，有市场人士认为，目前从上述两家公司的情况来看，业绩增长较为稳定，大基金在三季度预告披露之际选择减持，总的来看，被减持公司大多都已成长为半导体细分领域龙头，大基金也完成了其培养产业及公司的使命。
值得注意的是，对引入大基金二期的目的，至纯科技在公告中也表示，为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。这也从侧面说明，对至纯科技来说，为子公司引入大基金有利于其成长为国内湿法设备的细分龙头。
公告内容显示，至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。
有业界人士对媒体表示，“清洗工艺虽然看似难度低于光刻，刻蚀，沉膜等工艺，但是在芯片制造环节属举足轻重的地位，因为每道工艺完成之后送入下一道工艺之前，都需要进行彻底清洗，而且要确保硅晶圆表面没有任何杂质残留。因为任何残留的杂质都造成极大影响，轻则影响部分良率，重则导致整片乃至成批的晶圆报废，损失巨大，毕竟每1%的良率变化就能吞没一个先进逻辑代工厂的1。5亿美金的利润或是一个3D NAND晶圆厂1。1亿美金的利润！因此清洗工艺是集成电路工艺中重复次数最多且对良率有重要影响的工艺。”
技术水平方面，至纯科技中报显示，公司已经具备生产8~12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28纳米节点的全部湿法工艺设备。首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，2021年下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到主流客户产线。