【摘要】 荷兰ASML公司是目前全球唯一EUV光刻机供应商，7nm制程工艺的芯片都要使用ASML的设备，现在他们又带来了一项全新的设备，适用于5nm及更先进的工艺，提升生产效率。相
荷兰ASML公司是目前全球唯一EUV光刻机供应商，7nm制程工艺的芯片都要使用ASML的设备，现在他们又带来了一项全新的设备，适用于5nm及更先进的工艺，提升生产效率。
相比单个电子束检查工具，eScan1000拥有九个光束，可让产能提升600%。
日前，ASML宣布，已完成第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的系统集成和测试，可用于5nm及更先进的工艺，
包括一个电子光学系统，该系统能够创建和控制多个一次电子小束，然后收集和处理所产生的二次电子束，将电子束与电子束的串扰限制在2％以下，并提供一致的成像质量。
据悉，eScan1000是基于HMI多光束技术的检测系统，
同时它还具有一个高速平台以提高系统的整体吞吐量，以及一个高速计算架构来实时处理来自多个电子束的数据流。从而实现物理缺陷检查和电压对比检查，减少晶圆质量分析所用的时间。
eScan1000拥有专门的芯片，用以检测数据库缺陷检测功能，使得芯片制造商能够使用晶圆打印检查来监视EUV的缺陷，
此外，这一点在单束解决方案上需要大量时间，而多个电子束很快就能完成。目前第一个eScan1000已于本周交付客户进行测试验证，未来还会推出大量多光束测试设备满足客户对先进工艺的需求。