【摘要】 6月10日，据外媒报道，台积电已大规模生产5nm工艺两年，正在推进3nm工艺的大规模生产。该工艺已于去年下半年尝试生产，计划在今年下半
6月10日，据外媒报道，台积电已大规模生产5nm工艺两年，正在推进3nm工艺的大规模生产。该工艺已于去年下半年尝试生产，计划在今年下半年大规模生产。而且台积电除了3nm工艺外，还计划在2025年量产更先进的2nm工艺量产。
据外国媒体报道，台积电最近宣布将投资340亿美元，以促进2nm工艺的大规模生产，并获得了建筑用地的租赁许可证。
此外，一些外国媒体在报道中表示，台积电高层正在与相关方就建设2nm工艺工厂所需的土地进行谈判。超过90%的业主同意，他们最迟可以在6月份获得建厂所需的所有土地。
除土地外，台积电2nm工艺工厂还需要大量资金用于工厂建设，但预计成本最高的是更高端的极紫外光刻机等先进设备。
从第二代7nm工艺开始，台积电采用了极紫外光刻机，然后大规模生产的5nm等先进工艺需要极紫外光刻机。他们还从阿斯麦购买了大量极紫外光刻机，更先进的2nm工艺将需要高孔径极紫外光刻机。
最先进的TWINSCANNXE：3400B，TWINSCANNXE：3400C，最先进的TWINSCANNE：3600D，最先进的TWINSCANNE：3400C，最先进的TWINSCANNE：3600D，最先进的TWINSCANNE：3400C。
根据阿斯麦尔第一季度的财务业绩，他们在今年第一季度交付了三台极紫外光刻机，营收5.94亿欧元，平均售价近2亿欧元。未来将推出更先进的极紫外光刻机，支持2nm制程技术，价格将更高。