【摘要】 据新研究所5月21日报道，最新消息称，荷兰ASML正在开发价值4亿美元(约26亿元人民币)的新型光刻机，双层巴士大，重量超过200吨。原型机
据新研究所5月21日报道，最新消息称，荷兰ASML正在开发价值4亿美元(约26亿元人民币)的新型光刻机，双层巴士大，重量超过200吨。原型机预计将于2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年至2030年主力出货。
单价超过26亿:ASML新一代EUV光刻机上路
这台机器应该gh-NAEXE:5200(0.55NA)，Intel是世界上第一家下单的公司。所谓High-NA，即高值孔径，2nm后的节点必须依靠它来实现。
在ASML公布的今年第一季度财务报告中，EXE:5200订购了不止一台。根据计划，第一台原型试制机将于2023年开放，预计将由imec（比利时微电子研究中心）安装。2025年后将大规模生产，第一台预计将交付Intel。事实上，ASML的EUV光刻机非常大。现售0.33NAEUV光刻机零件超过10万台。一次性运输需要40个海运集装箱或4个喷气式货机，单价约为1.4亿美元。