【摘要】 4月13日，近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸测量设备(CD-SEM)启动国内知名集成电路制造及整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12
4月13日，近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸测量设备(CD-SEM)启动国内知名集成电路制造及整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM启动以来，仅9个月后，东方晶源在电子束测量领域再次取得重大进展，技术实力深厚，市场化经验丰富，研发能力快。此次启动将进一步巩固东方晶源在国内电子束检测和测量市场的领先地位。东方晶源首台8英寸关键尺寸测量设备（型号：SEPA-c300）基于东方晶源12英寸关键尺寸测量设备的技术积累，是90nm以上技术节点的成熟技术。具有12英寸主流设备的成像分辨率、100微米大视场成像能力和多样化的测量算法，可满足客户对不同产品线和各种应用场景的测量需求。进入燕东微电子后，通过实际生产线验证，进一步提高设备性能，帮助客户提供更具竞争力的产品，提高服务能力。
近年来，受下游需求影响，8英寸晶圆OEM生产能力持续短缺。然而，由于12英寸已逐渐成为主流尺寸，半导体设备制造商也将业务重点放在12英寸工厂上，设备短缺已成为8英寸工厂扩张的难点之一。以关键尺寸测量设备为例，目前市场上流通的8英寸设备大多是二手改造设备，性能指标低，设备稳定性差。东方晶源洞察了晶圆OEM的痛点，充分发挥了电子束检测和测量领域的技术优势，积极响应，迅速推出了8英寸关键尺寸测量设备，成功解决了另一个行业问题，对促进我国半导体产业的稳定发展具有重要意义。
随着半导体工艺节点的不断推进，电子束检测的重要性越来越突出。东方晶源凭借其先发优势和强大的研发投资，在电子束检测和测量领域积累了强大的技术实力，取得了显著的成就。承担国家02重大专项——电子束硅图形缺陷检测设备研发和工业化项目，第一套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成生产线验证并获得重复订单；加快推出多种关键尺寸测量设备，获得多项订单。东方晶源在电子束检测、测量领域不断取得重要的产品技术突破，填补了国内相关领域的许多空白。
目前，东方晶源与大多数具有市场影响力的国内晶圆OEM企业建立了合作关系，得到了行业和客户的高度认可。未来，东方晶源将继续坚持以客户为中心，不断加强研发投资，扩大国内电子束检测和测量领域的领先优势。同时，与上下游企业合作，共同推动中国半导体产业链实现全面、独立、可控，配合国家实现半导体产业的战略布局。